特种气体属于工业气体的一种。工业气体是现代工业重要的基础原料，根据不同气体的生产工艺和用途，可以将工业气体分为特种气体、合成气体、空分气体三大类。气体产品大致可以分为两大类别, 即一般工业气体和特种气体。一般工业气体是指经过空气分离设备制造的普通级的氧气和氮气、经过焦炉气分离或电解等方法制造出来的普通纯度的其它种类气体。硅片的蚀刻气体（特种气体）主要是氟基气体,包括四氟化碳、四氟化碳/氧气、六氟化硫、六氟乙1烷/氧气、三氟化氮等。
特种气体是指稀有气体或超高纯度（99.995% 以上）的气体。包括分析、医1药、电子及石油化工在内的许多行业都会受益于特种气体的独特性质，它有助于提高产量、优化性能以及降低成本。随着国产化的推进，部分种类的电子特种气体慢慢形成规模效应，占据市场半壁江山。一些常规的特气产品，中国的产能甚至可以满足全球范围内的需要，但需清醒的看到，从核心竞争力，质量管理，品牌效应方面来说，我们仍然处于低水平区间。根据有关数据显示，中国特种功能电子气体市场规模逐年增长，仅2016年，中国特种电子气体市场规模约为98亿元左右。值得关注的是，从产业链以及技术层面欧美国家占据较好的地位。
特种气体的重要性：电子特种气体决定了集成电路的终良率和可靠性。由于电子气体用途多，用量大。所以电子气体也直接决定了 终芯片的良率和可靠性，特种气体的储存注意事项：高压容器内，存有内容物时，无论内容量多少，在该容器储存场地2m内，严禁明火或放置燃、可燃物。场所的环境温度≤40℃为佳。电子特种气体是集成电路、平板显示、发光二极管、太阳能电池等半导体行业生产制造过程中不可或缺的关键性化工材料，被广泛的应用 于清洗、刻蚀、成膜、掺杂等工艺。
以上信息由专业从事特种混合气体的安徽谱纯于2024/5/29 8:14:58发布
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